[发明专利]一种光刻机用快门叶片装置在审
| 申请号： | 201710543036.8 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN109212910A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王彦飞;刘国淦;章富平;贾翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于光刻机曝光系统的快门叶片装置，包括两个快门叶片、两个隔热板，每个快门叶片上连接着一个隔热板。本发明采用快门叶片与隔热板连接使用的方式，阻碍叶片对快门系统的热传导，解决了由快门热传导导致的快门系统工作不稳定甚至烧毁的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 快门叶片 隔热板 快门系统 热传导 光刻机曝光系统 连接使用 光刻机 快门 叶片 烧毁 阻碍 | ||
【主权项】：
1.一种快门叶片装置，用于光刻机曝光系统，其特征在于，包括两个快门叶片、两个隔热板，每个快门叶片连接一个隔热板。
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