[发明专利]界面的非特异性吸附物的去除装置及方法在审
| 申请号： | 201710548154.8 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107570482A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 段学欣;潘书婷;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;G01N33/53;G01N33/68 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙)11017 | 代理人： | 韩登营,曲芳兵 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种界面的非特异性吸附物的去除装置，包括可被电激励的体声波谐振器件，其至少包括一谐振器；与所述谐振器表面间隙一定距离设置一相对的平面，该间隙构成一不完全封闭的腔体；所述谐振器表面与所述平面的至少一面修饰有检测元件；所述腔体用于被施加液体，该液体将被所述谐振器驱动产生微涡旋作用于谐振器表面和所述平面的至少一面的非特异性吸附物。还相应的提供了一种去除方法。本发明可用于对任意界面的非特异性吸附物的去除，具有通用性，且具有简洁化，微型化，与半导体工艺兼容和去除效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 界面 非特 异性 吸附 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种界面的非特异性吸附物的去除装置，其特征在于，包括：可被电激励的体声波谐振器件，其至少包括一谐振器；与所述谐振器表面间隙一定距离设置一相对的平面，该间隙构成一不完全封闭的腔体；所述谐振器表面与所述平面的至少一面修饰有检测元件；所述腔体用于被施加液体，该液体将被所述谐振器驱动产生微涡旋作用于谐振器表面和所述平面的至少一面的非特异性吸附物。
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