[发明专利]一种热式气体流量传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种热式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，包括凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，位于凹槽上方，包括若干个第一介质膜单元及槽型结构，第一介质膜单元与衬底相连接，槽型结构贯穿第一介质膜且位于相邻第一介质膜单元之间，第一介质膜与衬底围成一个隔热腔体；电阻组件，包括至少一个加热单元和至少两个热敏单元，每个加热单元与每个热敏单元位于不同的第一介质膜单元上，热敏单元位于加热单元的两侧。通过上述技术方案，本发明的热式气体流量传感器的加热电阻的热量与衬底彻底隔离，降低了加热电阻热损耗，提高了气体流量的检测灵敏度和响应时间；采用单硅片单面体硅微机械工艺制作，结构尺寸小，成本低、工艺简单。

主权项

一种热式气体流量传感器，其特征在于，包括：衬底，包括一凹槽，所述凹槽开设于所述衬底的上表面；第一介质膜，覆盖于所述凹槽上方，包括若干个第一介质膜单元及槽型结构，所述第一介质膜单元与所述衬底相连接，所述槽型结构贯穿所述第一介质膜且位于相邻所述第一介质膜单元之间，以使各所述第一介质膜单元被所述槽型结构隔开，所述第一介质膜与所述衬底共同围成一个隔热腔体；以及电阻组件，包括至少一个加热单元和至少两个热敏单元，每个所述加热单元与每个所述热敏单元分别位于不同的所述第一介质膜单元上，且所述热敏单元位于所述加热单元的两侧。