[发明专利]用于制备立方氧化锆层的方法在审
| 申请号： | 201710548833.5 | 申请日： | 2010-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN107299313A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | J·拉姆;B·维德里希 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面解决方案股份公司;普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/32;H01M8/1253 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张华,黄念 |
| 地址： | 瑞士普*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 为了在沉积基材上产生基于氧化锆的层，使用了包含单质锆石和至少一种稳定剂的混合靶，或者使用由元素锆组成的锆靶，在该方法中使用了反应性火花蒸发，该火花蒸发使用脉冲的火花电流和/或施加了垂直于火花靶的磁场，其中除了氧气之外，将氮气用作反应性气体。作为选项，与混合靶使用相结合，除了氧气之外，氮气也可以用作反应性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 立方 氧化锆 方法 | ||
【主权项】：
在沉积基材上产生基于氧化锆的层的方法，该方法使用反应性火花蒸发，该火花蒸发使用脉冲的火花电流和/或施加有垂直于火花靶的磁场，特征在于使用包含单质锆和至少一种稳定剂的混合靶，其中所述的靶以这样的方法制备，在方法之后所述的靶材料在所述靶中还是作为分离的材料存在，所述的混合靶通过热等静压(HIP)来制备。
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