[发明专利]沉积设备有效
| 申请号： | 201710550629.7 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN107604313B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 朴宰完;文柱日;姜成起;黄仁炫 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种沉积设备，该沉积设备包括：腔室；第一级和第二级，用于在腔室内支承衬底；蒸发源组件，在与第一级对应的第一级区和与第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过该多个喷嘴被喷射；以及拍照组件，设置在第一级与第二级之间，并为多个喷嘴拍照。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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