[发明专利]阴极旋转机构有效
| 申请号： | 201710550670.4 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107254670A | 公开（公告）日： | 2017-10-17 |
| 发明（设计）人： | 朱安秋 | 申请（专利权）人： | 苏州胜利精密制造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 范晴;胡秋婵 |
| 地址： | 215151 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了阴极旋转机构，包括：阴极源总成，安装在真空溅射腔室内壁上；阴极靶筒，一端连接至所述阴极源总成并可沿所述阴极源总成旋转；穿设在所述阴极靶筒内的循环水回水管，其连接至设置在所述阴极源总成上的供水管，且连通至所述循环水回水管与所述阴极靶筒之间的密闭空间，所述密闭空间连通至设置在所述阴极源总成上的出水管；设置在所述循环水回水管外壁上的多个磁铁；及设置在所述阴极靶筒另一端的驱动装置，以用于驱动所述阴极靶筒旋转。本发明提供的阴极旋转机构，结构简单，安全性能好，便于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 旋转 机构 | ||
【主权项】：
阴极旋转机构，其特征在于包括：阴极源总成(1)，安装在真空溅射腔室内壁上；阴极靶筒(2)，一端连接至所述阴极源总成(1)并可沿所述阴极源总成(1)旋转；穿设在所述阴极靶筒(2)内的循环水回水管(4)，其连接至设置在所述阴极源总成(1)上的供水管(7)，且连通至所述循环水回水管(4)与所述阴极靶筒(2)之间的密闭空间(6)，所述密闭空间(6)连通至设置在所述阴极源总成(1)上的出水管(8)；设置在所述循环水回水管(4)外壁上的多个磁铁(5)；及设置在所述阴极靶筒(2)另一端的驱动装置(3)，以用于驱动所述阴极靶筒(2)旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州胜利精密制造科技股份有限公司，未经苏州胜利精密制造科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710550670.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：烧结体和非晶膜
- 下一篇：一种双面真空镀膜卷绕机
- 同类专利
- 专利分类
