[发明专利]一种多主元合金靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种多主元合金靶材及其制备方法，该多主元合金靶材为AlxCoCrNiyMnzMgr，0.2≤x≤1.5；0.2≤y≤1.5；0.2≤z≤1.5；0.2≤r≤1.5；0.05≤x/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤y/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤z/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤r/(x+y+z+r+2)≤0.35，具体步骤为：先按化学组成称取各金属粉末在惰性气体下球磨混匀，然后将混合粉末在惰性气体保护下装入石墨模具，将模具装入放电等离子烧结炉内；加载预压力，抽真空，升温并保温得合金材料。本发明产品成分与组织结构均匀，晶粒尺寸细小，致密度高。

主权项

1.一种多主元合金靶材，其特征在于：该多主元合金靶材具体是一种含有金属元素Al、Co、Cr、Ni、Mn和Mg的合金靶材，其化学组成为Al_xCoCrNi_yMn_zMg_r，0.2≤x≤1.5；0.2≤y≤1.5；0.2≤z≤1.5；0.2≤r≤1.5；0.05≤x/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤y/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤z/(x+y+z+r+2)≤0.35；0.05≤r/(x+y+z+r+2)≤0.35；所述的多主元合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)按照化学组成Al_xCoCrNi_yMn_zMg_r分别称取Al、Co、Cr、Ni、Mn、Mg金属粉末，备用；上述每种金属粉末的纯度均高于99.5％，每种金属粉末的粒度均为200‑500目；(2)将步骤(1)中各种金属粉末加入至球磨机中，惰性气体保护下进行球磨混料得到混合粉，混料转速为50‑250rpm，时间为0.5‑6h；(3)将步骤(2)中混合均匀的混合粉在惰性气体保护下装入石墨模具，再将石墨模具装入放电等离子烧结炉内；此时在石墨模具上加载一个初定预压力5‑10MPa，再将炉腔抽真空到100Pa以下，快速升温到1100‑1600℃，保温0.2‑1h，烧结完成即得多主元合金靶材。