[发明专利]MEMS地面大气电场传感器在审
| 申请号： | 201710555617.3 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107300642A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 杨鹏飞;彭春荣;夏善红;刘宇涛;吴双 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 方丁一 |
| 地址： | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS地面大气电场传感器，包括弧顶探测结构以及MEMS电场测量模块，弧顶探测结构包括导电弧顶防雨外壳，顶部为弧形，底部设置有朝向顶部的凹槽，导电连接柱，设置在所述凹槽顶部，与所述弧顶防雨外壳电连接；固支腔体上部，为顶部封闭、底部开口的筒体，设置在所述凹槽内，所述连接柱贯穿固支腔体上部顶部，且与所述固支腔体上部电性绝缘；以及固支腔体下部，封闭固支腔体上部的底部开口，用于形成固支腔体，MEMS电场测量模块设置在所述固支腔体内，用于通过所述导电连接柱及导电弧顶防雨外壳来探测外界电场。 | ||
| 搜索关键词： | mems 地面 大气 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS地面大气电场传感器，其特征在于，包括：弧顶探测结构(1)，包括：导电弧顶防雨外壳(11)，顶部为弧形，底部设置有朝向顶部的凹槽，导电连接柱(12)，设置在所述凹槽顶部，与所述弧顶防雨外壳(11)电连接；固支腔体上部(13)，为顶部封闭、底部开口的筒体，设置在所述凹槽内，所述连接柱(12)贯穿固支腔体上部(13)顶部，且与所述固支腔体上部(13)电性绝缘；以及固支腔体下部(14)，封闭固支腔体上部(13)的底部开口，用于形成固支腔体，以及MEMS电场测量模块(3)，设置在所述固支腔体内，用于通过所述导电连接柱(12)及导电弧顶防雨外壳(11)来探测外界电场。
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