[发明专利]面向物联网的砷化镓基具有热电转换功能的MESFET器件有效
| 申请号： | 201710556125.6 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107359152B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;陈友国 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L23/38;H01L29/812 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211103 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种面向物联网的砷化镓基具有热电转换功能的MESFET器件，主要包括MESFET和热电偶。MESFET选择半绝缘的GaAs作为衬底，通过GaAs工艺和MEMS表面微机械加工实现具有能量转换功能的MESFET。在源漏栅的金层四周制作一层二氧化硅，化学机械抛光后，制作热电偶的金属Au型热电臂和砷化镓型热电臂，蒸金连接两种热电偶臂，将源漏栅的热电偶电极进行金属连线，留下两个热电偶电极作为塞贝克电压的输出极。该砷化镓基具有热电转换功能的MESFET器件根据塞贝克效应，可以将器件工作产生的热能转换为电能，实现能量收集的同时缓解了散热问题。通过检测输出塞贝克电压的大小来实现对热耗散功率大小的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 热电转换 砷化镓基 热电偶电极 热电臂 热电偶 物联网 源漏 表面微机械加工 化学机械抛光 能量转换功能 热耗散功率 塞贝克效应 二氧化硅 金属连线 能量收集 热电偶臂 热能转换 散热问题 半绝缘 砷化镓 输出极 检测 衬底 金层 蒸金 制作 金属 输出 缓解 | ||
【主权项】：
1.一种面向物联网的砷化镓基具有热电转换功能的MESFET器件，其特征是：所述MESFET器件以半绝缘的GaAs为衬底(1)，在衬底(1)上设有N型GaAs导电沟道层、源区(3)、漏区(4)、源极欧姆接触金锗镍/金极(5)、漏极欧姆接触金锗镍/金极(6)、栅极肖特基接触金极(7)；所述源极欧姆接触金锗镍/金极(5)、漏极欧姆接触金锗镍/金极(6)、栅极肖特基接触金极(7)的四周分别设有绝缘层(2)；所述源极欧姆接触金锗镍/金极(5)、漏极欧姆接触金锗镍/金极(6)、栅极肖特基接触金极(7)四周的绝缘层(2)上分别设有若干个热电偶，热电偶之间通过金属连线(10)串联，并留下两个热电偶电极作为塞贝克电压的输出极“+”极和“‑”极；所述热电偶由金属Au型热电臂(8)和砷化镓型热电臂(9)通过金属连线(10)串联而成。
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