[发明专利]法布里-珀罗干涉滤光片以及光检测装置有效
| 申请号： | 201710556846.7 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN107608017B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 川合敏光;柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;大山泰生;寺町有未 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明所涉及的法布里‑珀罗干涉滤光片的特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于第1表面；第2层结构体，被配置于第2表面；在第1层结构体中设置通过空隙互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在第2层结构体中形成分离区域，该分离区域在沿着第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将第2层结构体的至少一部分分离。 | ||
| 搜索关键词： | 法布里 干涉滤光片 以及 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种法布里‑珀罗干涉滤光片，其特征在于：具备：基板，具有互相相对的第1表面以及第2表面；第1层结构体，被配置于所述第1表面；以及第2层结构体，被配置于所述第2表面，在所述第1层结构体设置有通过空隙而互相相对并且互相的距离为可变的第1反射镜部以及第2反射镜部，在所述第2层结构体形成有分离区域，该分离区域在沿着所述第2表面的方向上的一方侧和另一方侧将所述第2层结构体的至少一部分分离。
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