[发明专利]一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器有效
| 申请号： | 201710560422.8 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107449955B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王文;贾雅娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;武玥 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片(22)、感知延迟线(21)、参考延迟线(23)和SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 图形 化磁致 伸缩 薄膜 表面波 电流传感器 | ||
【主权项】：
一种基于图形化磁致伸缩薄膜的声表面波电流传感器，所述声表面波电流传感器包括：压电基片(22)、感知延迟线(21)、参考延迟线(23)和SiO2薄膜(212)，其特征在于，所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)平行且同向，设置于压电基片(22)上；所述感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的结构相同；所述SiO2薄膜(212)沉积于感知延迟线(21)和参考延迟线(23)的表面上，所述图形化磁致伸缩薄膜设置在所述SiO2薄膜(212)表面上，在所述感知延迟线(21)的传播路径上。
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