[发明专利]一种等离子体改性超滤膜处理系统

摘要

本发明公开了一种等离子体改性超滤膜处理系统，其包括工作室，工作室上设置有放电室，放电室的一侧设置有总控箱；总控箱内设置有控制单元和等离子体电源模块，总控箱上设置有与控制单元相连接的控制面板；放电室内设置有正对并连接等离子体电源模块的电极，两个电极之间设置有第一进气管；工作室内设置有超滤膜装载部件，工作室的底部设置有抽气口，抽气口连接一真空机组，真空机组连接控制单元；超滤膜装载部件包括与控制单元相连接的步进装置，步进装置通过至少一根螺纹杆活动连接一用于存放超滤膜的基片台。本发明在超滤膜上形成的薄膜厚度均匀，等离子体电源模块输出稳定，能进行意外跳闸保护，有效提高本系统的安全性。

主权项

1.一种等离子体改性超滤膜处理系统，其特征在于：包括工作室(2)，所述工作室(2)的上方设置有放电室(1)，所述放电室(1)的一侧设置有总控箱(401)；所述总控箱(401)内设置有控制单元和等离子体电源模块，所述总控箱(401)上设置有与所述控制单元相连接的控制面板(402)；所述放电室(1)内设置有两个正对且连接所述等离子体电源模块的电极(101)，两个所述电极(101)之间设置有第一进气管(102)；所述工作室(2)内设置有超滤膜装载部件，所述工作室(2)的底部设置有抽气口(204)，所述抽气口(204)与一真空机组(3)连接，所述真空机组(3)连接所述控制单元；所述超滤膜装载部件包括与所述控制单元相连接的步进装置(201)，所述步进装置(201)通过至少一根螺纹杆(202)与一用于存放超滤膜的基片台(203)活动连接；所述等离子体电源模块包括三个并联的RC阻容缓冲电路，与所述三个并联的RC阻容缓冲电路相连接的三相可控硅全桥整流滤波电路，并联在所述三相可控硅全桥整流滤波电路输出端的两个串联的电解电容，以及连接在所述三相可控硅全桥整流滤波电路输出端的脉冲输出电路；所述两个串联的电解电容还并联有一无感聚酯薄膜电容。