[发明专利]一种石墨烯薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯薄膜的制备方法，通过使石墨烯箔带中产生电流，在电流的作用下促进石墨烯薄膜的优化生长；解决了现有技术存在的石墨烯薄膜生长速度慢、成膜不均匀、工艺气体浪费大等问题。

主权项

一种石墨烯薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）设置真空腔体；（2）在所述真空腔体内设置用于传送石墨烯箔带的传送机构，设置使得所述传送机构包括设于所述石墨烯箔带传送始端的第一传送组件、设于所述石墨烯箔带传送末端的第二传送组件；其中，所述第一传送组件和所述第二传送组件均具有导电性；（3）在所述真空腔体内设置位于所述第一传送组件和所述第二传送组件之间的用于对所述石墨烯箔带加热的加热机构；（4）在所述真空腔体内设置用于对进入所述加热机构中的石墨烯箔带输送用于配合的生长石墨烯薄膜的工艺气体的输气机构；（5）设置电源组件，使得所述第一传送组件与所述电源组件的正极或负极导通，并使得所述第二传送组件与所述电源组件的负极或正极导通；（6）开启所述传送机构、所述加热机构、所述输气机构、所述电源组件，使得所述石墨烯箔带在所述真空腔体中生长形成所述石墨烯薄膜。