[发明专利]光波导器件全息谱测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种光波导器件全息谱测量方法及装置。该方法是将宽带光源分成三束光并传输到待测光波导、固定光程光路及反射镜，得到两路信号光和一路参考光；将参考光与两路信号光干涉得到两个干涉光并经光电转换得到两个电信号；在反射镜移动过程中，连续采样并AD转换两个电信号而得到两组数据，对这两组数据分别进行傅里叶变换；用傅里叶变换的两个振幅计算出光波导的振幅谱，用傅里叶变换的实部和虚部计算出光波导的相位谱。基于该方法，由宽带光源、分光/合光器、固定光程光路、可移动反射镜、光电探测器、数据采集系统和计算机可构成光波导器件全息谱测量装置。本发明具有抗干扰性强，精度高，可同时测量光波导器件的振幅谱和相位谱等优点。

主权项

1.一种光波导器件全息谱测量方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将宽带光源经过分光处理后形成三束光，分别为第一束光、第二束光和第三束光；将所述第一束光传输到待测光波导器件，反射得到第一信号光；将所述第二束光传输到固定光程光路，反射或透射得到第二信号光；将第三束光传输到可移动的反射镜，反射后得到参考光；(2)将所述参考光经过分光处理后得到第一参考光和第二参考光，将所述第一参考光与所述第一信号光干涉得到干涉光a；将所述第二参考光与第二信号光干涉得到干涉光b；(3)将所述干涉光a和干涉光b分别进行光电转换后得到电信号A和电信号B；在移动所述反射镜的过程中，对所述电信号A和电信号B进行连续采集，分别得到数据组A和数据组B；(4)对数据组A和数据组B分别进行傅里叶变换得到F_A和F_B，将F_A的振幅除以F_B的振幅计算得到光波导器件的振幅谱r(v)，用F_A的虚部除以F_A的实部并取其反正切函数计算得到光波导器件的相位谱计算所用到的具体公式为式中，v＝2/λ为光波波数，λ为光波波长，R_e和I_m分别为F_A的实部和虚部；符号“±”在对数据A进行傅里叶正变换时取为“‑”，在对数据A进行傅里叶反变换时取为“+”。