[发明专利]电化学地震检波器敏感电极及其制备方法有效
| 申请号： | 201710563494.8 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107367771B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;孙振源;王军波;陈健;李光磊;陈连宏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01V11/00 | 分类号： | G01V11/00;G01V1/00;G01V3/06 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电化学地震检波器敏感电极，包括：一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；以及两个电极层，分别覆盖于所述支撑基板的上表面和下表面，所述两个电极层中分别设置有至少一个电极层通孔；所述电极层通孔与所述支撑基板通孔之间形成通道。此外，本发明还提供了一种电化学地震检波器敏感电极的制备方法。通过本发明，减小了阴阳电极间距，因此可以大幅提高敏感电极的灵敏度，同时降低了组装难度，制备方法简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 地震 检波器 敏感 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电化学地震检波器敏感电极，包括：/n一支撑基板，所述支撑基板的材料为有机绝缘体，支撑基板中设置有至少一个支撑基板通孔；/n第一图形化电极层，覆盖于所述支撑基板的上表面；以及/n第二图形化电极层，覆盖于所述支撑基板的下表面，所述第一图形化电极层和所述第二图形化电极层中分别设置有至少一个电极层通孔；所述电极层通孔与所述支撑基板通孔之间形成通道；/n其中，所述电化学地震检波器敏感电极按照如下方法制备：/n在衬底上生长一层有机绝缘体作为所述支撑基板；/n在所述支撑基板上制作具有通孔的所述第一图形化电极层；以及/n去除所述衬底，在所述支撑基板的另一表面上制作第二电极层，然后根据所述第一图形化电极层的通孔，在所述支撑基板上制作所述支撑基板通孔，最后根据所述第一图形化电极层的通孔和所述支撑基板通孔在所述第二电极层上形成通孔，得到所述第二图形化电极层。/n
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