[发明专利]提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法及铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格及其应用有效

专利信息
申请号: 201710563810.1 申请日: 2017-07-12
公开(公告)号: CN107393982B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 曹耀辉;陈建桥 申请(专利权)人: 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/0368;H01L31/111
代理公司: 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人: 赵俊宏
地址: 066000 河北省秦*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明的目的是针对现有技术由于铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格的晶内界面多,使得材料的生长难度提高,材料的生长成本高、生产设备寿命低的不足,提供一种提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法及铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格材料及其应用,这种提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法,通过增加所述铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格单胞中InSb层的应力,改变超晶格材料的能带结构,增加所述铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格红外探测器材料截止波长,采用本发明方法,可以改变能带结构增加超晶格红外探测材料的截止波长,得到的铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格材料制成的器件具有更高的探测率,减少了材料界面数量,减少了层级,且进一步提高了铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格材料的探测波长和探测率。
搜索关键词: 提高 镓锑超 晶格 红外探测器 材料 截止 波长 方法 镓锑 及其 应用
【主权项】:
一种提高铟砷/镓锑超晶格红外探测器材料截止波长的方法,其特征在于,通过增加所述铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格单胞中InSb层的应力,改变超晶格材料的能带结构,增加所述铟砷/镓锑Ⅱ类超晶格红外探测器材料截止波长。
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