[发明专利]基于直流辉光放电等离子体原理的高频响压力传感器在审
| 申请号： | 201710563822.4 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107389255A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李帆;杜娟;王偲臣;张宏武;聂超群 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于直流辉光放电等离子体原理的高频响压力传感器。该高频响压力传感器包括电极，包括阴极和阳极，用于在高压直流电源作用下，在阴极和阳极之间产生等离子体；支撑结构，用于支撑和固定所述电极，保证阴极和阳极之间具有稳定的间隙；以及屏蔽罩，用于屏蔽等离子体与外界气体，使等离子体不受外界气流速度的影响，只感受外界气压的变化。本发明提供的高频响压力传感器比传统压阻式传感器的优势在于，不受质量惯性的影响，具有突破MHz高频响的潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 直流 辉光 放电 等离子体 原理 高频 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种基于直流辉光放电等离子体原理的高频响压力传感器，包括：电极，包括阴极和阳极，用于在高压直流电源作用下，在阴极和阳极之间产生等离子体；支撑结构，用于支撑和固定所述电极，保证阴极和阳极之间具有稳定的间隙；以及屏蔽罩，用于屏蔽等离子体与外界气体，使等离子体不受外界气流速度的影响，只感受外界气压的变化。
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