[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板有效
| 申请号： | 201710564648.5 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107359126B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 苏同上;袁广才;王东方;赵策;周斌;刘军;邵继峰;王庆贺;张扬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/336 | 分类号： | H01L21/336;H01L29/786;H01L29/423;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示面板，涉及显示技术领域。制备方法包括：在基底上依次形成有源层、栅绝缘层和栅电极，其中，有源层包括沟道区域和导体化区域，栅电极在基底上的正投影包含沟道区域在基底上的正投影。薄膜晶体管包括：依次设置在基底上的有源层、栅绝缘层和栅电极，有源层包括沟道区域和与沟道区域两侧相接的导体化区域，栅电极在基底上的正投影包含沟道区域在基底上的正投影。阵列基板包含该薄膜晶体管，显示面板包含该阵列基板。该制备方法降低了顶栅型薄膜晶体管的开态电阻，使得开态电流增加，降低了显示器件的功耗，提高了显示面板的显示质量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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