[发明专利]一种薄膜力学性能实时测试装置

摘要

本发明提出了一种薄膜力学性能实时测试装置，属于光测力学、材料力学性能测试技术领域。测试装置主要包括激光挠度测量部分、压力加载部分、薄膜夹持结构。测试时，步进电机推动气缸实现压力加载，薄膜发生鼓膜形变，同时利用迈克尔逊激光干涉原理测量薄膜的挠度。通过压力传感器和硅光电池分别检测压力和挠度。使用可编程器FPGA实现步进电机控制、数据采集及上位机通信，上位机实现数据显示和处理。本发明结合光测技术和鼓膜法原理，可以进行薄膜力学性能的测试，适用于表面有一定反光度的弹塑性薄膜。

主权项

一种薄膜力学性能实时测试装置，其特征在于：包括压力加载部分、激光挠度测量部分、薄膜夹持结构；压力加载部分包括步进电机、滑台、气缸、加压气管、压力腔；步进电机与步进电机驱动器连接；步进电机输出端的滚珠丝杠固定在支座上，将滑台贯穿在滚珠丝杠上，滑台与气缸活塞杆固定连接，气缸固定在支座上，气缸输出端通过加压气管与压力腔连接；压力腔由亚克力水晶方块制成，内部加工有第一接口、第二接口和第三接口，第一接口连接有薄膜夹持结构，第二接口连接有加压气管，第三接口连接有压力传感器，其中压力传感器和薄膜夹持结构对称布置。