[发明专利]一种基于氮化钛纳米薄膜的三层结构的自选频红外吸收器

摘要

本发明公开了一种基于氮化钛纳米薄膜的三层结构的自选频红外吸收器，属于红外探测领域。本发明包括氮化钛纳米薄膜、介电层和金属反射层。介电层在金属反射层上，氮化钛纳米薄膜在介电层上。为了实现高性能自选频的红外吸收，氮化钛纳米薄膜厚度为1nm，介电层厚度对应的光程为所吸收红外光波长的1/4。入射红外光被氮化钛纳米薄膜吸收50%的能量后透射入介电层，在介电层中被吸收波长的红外光干涉增强，经过多次全反射后氮化钛纳米薄膜吸收剩余的能量。本发明结构简单，制作成本低，无需额外的滤光器；兼容CMOS工艺，可直接制作到基于CMOS的红外传感器上；对特定波长的红外光实现几乎100%的高效吸收。

主权项

一种基于氮化钛纳米薄膜的三层结构的自选频红外吸收器，其特征在于，包括氮化钛纳米薄膜、介电层和金属反射层。