[发明专利]一种基片台有效
| 申请号： | 201710570149.7 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109252143B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 胡振东;陈特超;胡凡;龚杰洪;程文进;李克;罗超 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基片台，包括载片盘以及用来测量基片温度的温度传感器，基片台还包括流体输入管、流体输出管以及温控装置，所述载片盘上设置有导热腔，所述流体输入管一端与所述温控装置的输出口连接，另一端与所述导热腔连通，所述流体输出管一端与所述导热腔连通，另一端与所述温控装置的回流口连接。本发明具有结构简化、温度控制精度高、基片台温度连续可调等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基片台 | ||
【主权项】：
1.一种基片台，包括载片盘(1)以及用来测量基片(70)温度的温度传感器(2)，其特征在于：基片台还包括流体输入管(3)、流体输出管(4)以及温控装置(5)，所述载片盘(1)上设置有导热腔(11)，所述流体输入管(3)一端与所述温控装置(5)的输出口连接，另一端与所述导热腔(11)连通，所述流体输出管(4)一端与所述导热腔(11)连通，另一端与所述温控装置(5)的回流口连接。
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