[发明专利]一种MEMS陀螺仪的信号处理系统有效
| 申请号： | 201710570317.2 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN109253725B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 邹波;罗皓 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/00 | 分类号： | G01C19/00 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS陀螺仪的信号处理系统，包括：与检测电容电连接的第一转换模块，第一转换模块用于将检测电容的电容值转换为检测数字信号；与第一转换模块电连接的第一数字信号处理模块，第一数字信号处理模块用于对检测数字信号进行处理得到角速度数字信号；与驱动检测电容电连接的第二转换模块，第二转换模块用于将驱动检测电容的电容值转换为驱动检测数字信号；与第二转换模块电连接的驱动模块，驱动模块用于根据驱动检测数字信号生成模拟驱动信号至驱动电容，使第二转换模块、驱动模块和MEMS陀螺仪组成谐振环路。通过第一转换模块和第二转换模块直接将相应电容变化转换为数字信号，简化MEMS陀螺仪的信号处理过程，降低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 信号 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪的信号处理系统，所述MEMS陀螺仪包括驱动电容、检测电容和驱动检测电容，其特征在于，包括：与所述检测电容电连接的第一转换模块，所述第一转换模块用于将所述检测电容的电容值转换为检测数字信号；与所述第一转换模块电连接的第一数字信号处理模块，所述第一数字信号处理模块用于对所述检测数字信号进行处理得到角速度数字信号；与所述驱动检测电容电连接的第二转换模块，所述第二转换模块用于将所述驱动检测电容的电容值转换为驱动检测数字信号；与所述第二转换模块电连接的驱动模块，所述驱动模块用于根据所述驱动检测数字信号生成模拟驱动信号至所述驱动电容，以使所述第二转换模块、驱动模块和MEMS陀螺仪组成谐振环路。
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