[发明专利]一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201710572249.3 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN107326360B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张虹虹;何卫锋;何光宇;聂祥樊;李应红;廖斌 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/48;C23C14/35;C23C14/06;C23C8/36;C23C14/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种纳米多层梯度复合的抗冲蚀涂层结构，从基体到涂层表面，所述涂层结构依次含有渗氮层、“嵌入式结合层”以及由Ti金属层、Ti→TiN梯度层和TiN/Ti纳米多层循环叠加组成的结构。此外，本发明公开了上述涂层结构的制备方法：通过表面渗氮，使基体表面及亚表面的材料属性与涂层材料相似，以缓解膜基交界处的应力集中现象；采用金属真空蒸汽离子源注入方法，对渗氮后的基体表面进行离子注入，形成“嵌入式结合层”；在结合层之上，采用磁过滤真空阴极弧沉积方法，通过连续控制输入的N |
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| 搜索关键词： | 一种 纳米 多层 梯度 复合 冲蚀 涂层 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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