[发明专利]一种黑硅制绒清洗机及其工艺

摘要

本发明公开了一种黑硅制绒清洗机及其工艺，由机架、机械手板块、硅片花篮、槽体板块、冷热循环用液板块、控制台、上料台和下料台组成，所述机械手板块运载硅片花篮横向偏移和纵向升降，使硅片花篮浸入槽体板块中，所述槽体板块首尾连接冷热循环用液板块，所述控制台位于机架中部且控制机械手板块、槽体板块、冷热循环用液板块、上料台和下料台的工作状态，所述槽体板块包括32个工位槽，制成绒面反射率低，硅片表面清洗充分，实现了制绒清洗工序的自动化，碎片率较低，本发明适用于黑硅制绒清洗机及其工艺。

主权项

1.一种黑硅制绒清洗机，由机架、机械手板块、硅片花篮、槽体板块、冷热循环用液板块、控制台、上料台和下料台组成，所述机械手板块运载硅片花篮横向偏移和纵向升降，使硅片花篮浸入槽体板块中，所述槽体板块首尾连接冷热循环用液板块，所述控制台位于机架中部且控制机械手板块、槽体板块、冷热循环用液板块、上料台和下料台的工作状态，其特征在于：所述槽体板块包括32个工位槽，32个所述工位槽依次为碱洗槽A、碱洗槽B、漂洗槽、硝酸洗槽、漂洗槽、添银酸洗槽A、添银酸洗槽B、漂洗槽、氢氟酸洗槽A、氢氟酸洗槽B、漂洗槽、初步去银洗槽A、漂洗槽、初步去银洗槽B、漂洗槽、纯氢氟酸洗槽、酸洗连体槽、漂洗槽、纯碱洗槽、漂洗槽、二次去银洗槽A、漂洗槽、二次去银洗槽B、漂洗槽、双酸洗槽、漂洗槽、漂洗槽、预脱水槽、烘干槽A、烘干槽B、烘干槽C和烘干槽D，所述碱洗槽A和碱洗槽B均装有氢氧化钾和无醇辅助剂，所述添银酸洗槽A和添银酸洗槽B均装有硝酸银和氢氟酸，所述初步去银洗槽A和初步去银洗槽B中均装有氨水和过氧化氢，所述酸洗连体槽内装有氢氟酸和硝酸，所述二次去银洗槽A内装有氨水、氢氧化钾和过氧化氢，所述二次去银洗槽B内装有氨水和过氧化氢，所述双酸洗槽内装有氢氟酸和盐酸。