[发明专利]于基板上制备图案化覆盖膜的方法有效

专利信息
申请号: 201710574795.0 申请日: 2017-07-14
公开(公告)号: CN107222979B 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 郑仲凯;吴仲仁;周孟彦;何长鸿;黄勃喻;蒋舜人 申请(专利权)人: 长兴材料工业股份有限公司
主分类号: H05K3/28 分类号: H05K3/28
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 齐杨
地址: 中国台湾高*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明关于一种于基板上制备图案化聚酰亚胺覆盖膜的方法。该方法包含:提供一聚酰亚胺干膜,其包含支撑体及位于该支撑体上的非感光型聚酰亚胺层,该非感光型聚酰亚胺层包含(i)聚酰亚胺前驱物或可溶性聚酰亚胺及(ii)溶剂;于该聚酰亚胺干膜形成预定图案;将该已形成预定图案的聚酰亚胺干膜以非感光型聚聚酰亚胺层之面与基板进行压合;及加热形成图案化聚酰亚胺覆盖膜。
搜索关键词: 基板上 制备 图案 覆盖 方法
【主权项】:
一种于基板上制备图案化聚酰亚胺覆盖膜的方法,其包含:(a)提供一聚酰亚胺干膜,该聚酰亚胺干膜包含支撑体及位于该支持体上的非感光型聚酰亚胺层,其中该非感光型聚酰亚胺层包含:(i)聚酰亚胺前驱物或可溶性聚酰亚胺;及(ii)溶剂;(b)于该聚酰亚胺干膜上形成一预定图案;(c)将该已形成预定图案的聚酰亚胺干膜以非感光型聚酰亚胺层之面与基板进行压合;及(d)进行加热,以形成图案化聚酰亚胺覆盖膜;其中以该非感光型聚酰亚胺层总重量计,溶剂的含量为至少5wt%。
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