[发明专利]一种3D立体微纳结构的制作方法有效
| 申请号： | 201710574943.9 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107473177B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴丰顺;周政;莫丽萍;祝温泊;章安娜 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 梁鹏;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于微纳制造工艺相关领域，并提供了一种3D微纳结构的制作方法，该方法包括：将被加工材料薄膜放置在模具上，模具根据根据材料的脱模性能决定是否涂覆脱模剂，在被加工材料薄膜上方放置用于发生自蔓延反应的自蔓延多层膜，向自蔓延多层膜自上至下的结构施加0.1MPa～20MPa的压力，点燃自蔓延多层膜，由此方式以点燃后的自蔓延多层膜作为热量与冲击力的来源，将所述模具上的图形转移到所述被加工材料薄膜上。按照本方法，不仅可有效避免微纳制造复杂的加工工序，具有方法灵活、成本低廉的特点，同时操作简便，条件温和，对环境要求低，可实现批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立体 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种3D立体微纳结构的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括如下步骤：S1，根据所设计图案制备模具；S2，在所述模具表面可选择地涂覆一层脱模剂，然后依次设置被加工材料薄膜、缓冲层、自蔓延多层膜、隔热材料膜和压板；S3，向所述压板均匀施加0.1MPa～20MPa的压力并引燃所述自蔓延多层膜，反应完成后执行脱膜，由此获得所需的3D立体微纳结构。
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