[发明专利]一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器及其制造方法

摘要

一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器及其制造方法，涉及一种电化学气体传感器，为了解决电化学气体传感器的灵敏度低、选择性差、难以形成阵列化和集成化的问题。本发明的传感器包括上电极层、电解池层、下电极层和引出层，依次对位叠层，上电极层的催化电极半封闭式覆盖第一电解池通孔，电解池层的基片上设有第二电解池通孔；第一电解池通孔和第二电解池通孔相通，形成电解池腔，下电极层的基片上设有对电极；对电极位于电解池腔正下方，引出层的基片上设有多个引出端。本发明的传感器适用于同时探测多种目标气体浓度。

主权项

1.一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，包括多个传感单元，多个传感单元阵列排布，且集成一体，每个传感单元包括上电极层(1)、电解池层(2)、下电极层(3)和引出层(5)；上电极层(1)、电解池层(2)、下电极层(3)和引出层(5)依次对位叠层；上电极层(1)的基片上设有第一电解池通孔(1‑1)、第一引线(1‑4)、第一过孔(1‑2)和催化电极(1‑3)；催化电极(1‑3)通过第一引线(1‑4)与第一过孔(1‑2)连通，催化电极(1‑3)半封闭式覆盖第一电解池通孔(1‑1)，电解池腔内填充多孔载体，催化电极(1‑3)固定在多孔载体上，多孔载体内盛装电解液；电解池层(2)的基片上设有第二电解池通孔(2‑1)和第二过孔(2‑2)；第一电解池通孔(1‑1)和第二电解池通孔(2‑1)相通，形成电解池腔，第二过孔(2‑2)与第一过孔(1‑2)连通；下电极层(3)的基片上设有对电极(3‑1)、第二引线(3‑6)、第三过孔(3‑4)和第四过孔(3‑5)；对电极(3‑1)位于电解池腔正下方，对电极(3‑1)通过第二引线(3‑6)与第三过孔(3‑4)连通，第四过孔(3‑5)与第二过孔(2‑2)连通；引出层(5)的基片上设有第一引出端(5‑1)和第二引出端(5‑2)；第一引出端(5‑1)与第四过孔(3‑5)连通，第二引出端(5‑2)与第三过孔(3‑4)连通。