[发明专利]锆合金表面涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201710575460.0 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN109252137B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 李怀林;刘艳红;王新林;马建光;廖帮亮;何彬;王晓婧;夏海鸿 | 申请（专利权）人： | 国家电投集团科学技术研究院有限公司;南华大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汪洋 |
| 地址： | 102209 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种锆合金表面涂层的制备方法，包括如下步骤：基材表面前处理：对锆合金基材的表面进行处理；超声清洗：对锆合金基材的表面进行超声清洗；低温烘干：对锆合金基材进行低温烘干处理；物理气相沉积：选用TiN陶瓷靶材，采用镀膜机、利用直流磁控溅射工艺在锆合金基材的表面上形成TiN涂层，其中工作气体采用Ar，并且在直流磁控溅射过程中通入N |
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| 搜索关键词： | 合金 表面 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种锆合金表面涂层的制备方法，其特征在于：利用物理气相沉积方法在锆合金表面上形成抗氧化涂层。
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