[发明专利]宽角度宽波段增透膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 201710575811.8 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN109254332A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 丁佳轶;崔鹏程;解爽博 | 申请（专利权）人： | 翼芯红外传感技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁;郑暄 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种宽角度宽波段增透膜及其制备方法和应用，其中的应用为将宽角度宽波段增透膜镀于红外气体传感器光源的出光窗口，增加该红外气体传感器光源的出光窗口的透射率。该种宽角度宽波段增透膜，对入射角度在20°到50°范围内的光实现较好的增透效果，以ZnSe为衬底，在该ZnSe的上下表面镀有相同膜系，共八层，由氧化锌和冰晶石交替而成，制备中包含有如下准备工序：通过透射和反射谱测试，测算出ZnSe衬底、冰晶石和氧化锌层的折射率，借助光学膜系设计软件求出满足透射率要求的各层的厚度，并采用磁控溅射的方法制备多层膜系，还可在制备完成后通过测试样品的增透率来验证其是否满足设计要求。 | ||
| 搜索关键词： | 宽波段 增透膜 制备 红外气体传感器 制备方法和应用 出光窗口 冰晶石 透射率 衬底 光源 透射和反射谱 测试样品 磁控溅射 上下表面 设计软件 氧化锌层 增透效果 多层膜 光学膜 入射角 氧化锌 折射率 膜系 增透 验证 测试 测算 应用 | ||
【主权项】：
1.一种宽角度宽波段增透膜，其特征在于，所述的宽角度宽波段增透膜基于ZnSe衬底，在所述的ZnSe衬底的上下底面均镀有相同膜系，该膜系包括四层氧化锌层和四层冰晶石层，其中氧化锌层和冰晶石层交替设置，且以氧化锌层为镀于ZnSe衬底底面的第一层，各膜层的厚度满足于使所述的宽角度宽波段增透膜对预设角度范围内、预设透光波长范围内的入射光束达到预设透射率。
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