[发明专利]一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置在审
| 申请号： | 201710576492.2 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107139067A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B53/017 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料加工技术领域，尤其涉及一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，首先通过现有设备对蓝宝石晶片进行抛光；然后对抛光后的蓝宝石晶片进行测绘；在通过测绘分析得出蓝宝石晶片边缘TTV/LTV偏高的区域；根据对蓝宝石晶片边缘TTV/LTV数值的分析结合晶片最大利用率原则对抛光盘面进行修整；最后用调整后的抛光盘面对蓝宝石晶片进行抛光，测量抛光后蓝宝石晶片的TTV/LTV，直到达到平整度要求。本发明在加工过程中，边缘磨损相对较低，从而保证较高去除速率同时，保证晶片TTV/LTV质量的稳定性，有效的控制了晶片边缘的TTV/LTV，从而提高了蓝宝石晶片整体平整度，大大增加了晶片利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 蓝宝石 晶片 抛光 ttv ltv 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于该方法的控制步骤为：步骤一，首先通过现有设备对蓝宝石晶片(2)进行抛光；步骤二，对抛光后的蓝宝石晶片(2)进行测绘；步骤三，通过测绘分析得出蓝宝石晶片(2)边缘TTV/LTV不符合要求的区域；步骤四，根据对蓝宝石晶片(2)边缘TTV/LTV数值的分析结合晶片(2)最大利用率原则对抛光盘面(3)进行修整；步骤五，用调整后的抛光盘面对蓝宝石晶片(2)进行抛光，测量抛光后蓝宝石晶片(2)的TTV/LTV。
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