[发明专利]一种化学机械抛光液在审
| 申请号： | 201710577413.X | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107286852A | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 徐志国;王良咏;李彦军;徐宇恒 | 申请（专利权）人： | 浙江晶圣美纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312300 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种化学机械抛光液，属于蓝宝石衬底的化学机械抛光技术领域。本发明所述的一种化学机械抛光液包含纳米磨料、邻苯二酚和含水载体。此化学机械抛光液尤其适合超硬材料蓝宝石的化学机械抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光液，此抛光液包含：⑴纳米磨料；⑵邻苯二酚；⑶含水载体；其中，所述的纳米磨料选自胶体二氧化硅、烧结二氧化硅以及α‑氧化铝。
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