[发明专利]溅射靶材回收方法在审
| 申请号： | 201710580344.8 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN109266854A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;姚力军;徐超 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | C22B7/00 | 分类号： | C22B7/00;C22B34/12;C22B34/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315460 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种溅射靶材回收方法，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；采用化学反应分离方法分离所述背板和靶材。所述化学反应分离方法相较于机械分离方法，能够将所述背板和靶材分离的更加彻底，从而可获得高纯度的靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 背板 化学反应 靶材组件 溅射靶材 背板连接 机械分离 回收 高纯度 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶材回收方法，其特征在于，包括：提供靶材组件，所述靶材组件包括背板和与所述背板连接的靶材；采用化学反应分离方法分离所述背板和靶材。
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