[发明专利]一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置

摘要

本发明涉及激光器测试技术领域，提供了一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试方法和测试装置。测试装置中误码仪的输出端连接射频放大器，射频放大器的输出端在连接可调衰减器后串联到偏置器；偏置器连接射频探针，用于在带真空泵的激光芯片固定台固定好激光器芯片后，与激光器芯片的信号电极接触；光探针与固定在带真空泵的激光芯片固定台上的激光器的出光口耦合，光探针的另一端连接光分路器；光分路器的两路分光输出端口分别连接光功率计和示波器。本发明采用的外置射频放大器与传统测试里使用的集成到IC中的射频放大器相比，可以重复使用，且增益可调范围更广，可以满足多种不同芯片的测试需求。

主权项

一种半导体激光器芯片的芯片级眼图测试装置，其特征在于，包括电源、误码仪、射频放大器、可调衰减器、偏置器、射频探针、激光器芯片、光探针、带真空泵的激光芯片固定台、光分路器、光功率计和示波器，所述电源用于给各设备提供工作电压，具体的：所述误码仪的输出端连接所述射频放大器，所述射频放大器的输出端在连接所述可调衰减器后串联到偏置器；所述偏置器为三端口器件，包括一个直流偏置口，一个射频输入口及一个射频输出口；其中，所述偏置器连接所述射频探针，用于在所述带真空泵的激光芯片固定台固定好激光器芯片后，与所述激光器芯片的信号电极接触；所述光探针与固定在所述带真空泵的激光芯片固定台上的激光器的出光口耦合，所述光探针的另一端连接所述光分路器；所述光分路器的两路分光输出端口分别连接所述光功率计和示波器。