[发明专利]复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺在审
| 申请号： | 201710581336.5 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN107470253A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李辉;丁玉清;张远东;胡俊;邝文轩;张文录 | 申请（专利权）人： | 深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/00;B08B7/00;B08B13/00;F26B5/04 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 张清彦 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，包含有真空超声波清洗、真空超声波漂洗、真空切水清洗、真空切液、真空碳氢超声清洗、慢拉脱水、蒸汽浴洗、真空干燥和等离子的清洗步骤，能够彻底将产品表明的切水剂、污渍以及夹缝里的脏污，有助于保障后序PVD镀膜品质。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 组件 pvd 镀膜 前超精 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种复合组件PVD镀膜前超精清洗工艺，包含有真空超声波清洗、真空超声波漂洗、真空切水清洗、真空切液、真空碳氢超声清洗、慢拉脱水、蒸汽浴洗、真空干燥和等离子的清洗步骤，其特征在于：所述各个清洗步骤相互排列组合应用。
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