[发明专利]一种工件圆周表面电解蚀刻装置有效
| 申请号： | 201710583503.X | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107398608B | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 雷华桢;郑剑平;魏永峰 | 申请（专利权）人： | 中国原子能科学研究院 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102413 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工件圆周表面电解蚀刻装置，该装置主体为机床，包括电源、工作箱、冷却系统和电解液循环系统，电解液循环系统包括电解液进液管、电解液出液管、电解液箱和电磁泵，电解液进液管和电解液出液管均与电解液箱相连，工作箱下端连接电解液出液管，工作箱的电解液进液口与冷却系统相连，电磁泵设置在电解液进液管上；工作箱内置有阴极，阴极与电源负极相连，阴极中心有一孔洞与电解液进液管连接，电源正极与电刷连接。该装置提供了一种蚀刻过程中各工艺参数稳定可控、参数控制精度高、工件蚀刻质量好、一致性好的工件圆周表面电解蚀刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 电解液 电解蚀刻装置 工件圆周 出液管 工作箱 进液管 电解液循环系统 蚀刻 阴极 电解液箱 冷却系统 电磁泵 孔洞 进液管连接 参数控制 电源负极 电源正极 一致性好 阴极中心 装置提供 装置主体 进液口 电刷 可控 下端 机床 电源 | ||
【主权项】：
1.一种工件圆周表面电解蚀刻装置，该装置主体为机床，其特征在于，该装置包括电源、工作箱(1)、冷却系统(3)和电解液循环系统，电解液循环系统包括电解液进液管(6)、电解液出液管(7)、电解液箱(5)和电磁泵(4)，电解液进液管(6)和电解液出液管(7)均与电解液箱(5)相连，工作箱(1)下端连接电解液出液管(7)，工作箱(1)的电解液进液口(6)与冷却系统(3)相连，电磁泵(3)设置在电解液进液管(6)上；工作箱(1)内置有阴极(9)，阴极(9)与电源(8)负极相连，阴极(9)中心有一孔洞(12)与电解液进液管(6)连接，电源(8)正极与电刷(10)连接，所述阴极(9)设置为半圆管形状。
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