[发明专利]一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 201710583658.3 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107400922A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 张涛;孙鹏;陈骏 | 申请（专利权）人： | 镇江仁德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C03C17/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈国强 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石英坩埚涂层及其制备方法和用途，该英坩埚涂层的制备方法包括以下步骤（1）在坩埚涂层的喷涂液中，加入烧结助剂，混合充分，然后喷涂于坩埚内表面上，形成涂层；（2）待涂层干燥后，对带有涂层的坩埚内表面进行加热，使其形成致密涂层。本发明通过在坩埚涂层喷涂液中添加烧结助剂，通过高温过程使烧结助剂形成玻璃相，这些玻璃相粘结氮化硅粉体进而在坩埚表面形成致密涂层。这些致密涂层既可以起到脱模作用，也可以防止涂层脱落进入硅晶体中形成硬质点，进而降低多线切割、尤其是金刚线切割时的线痕不良和断线风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 涂层 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
一种石英坩埚涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）在坩埚涂层的喷涂液中，加入烧结助剂，混合充分，然后喷涂于坩埚内表面上，形成涂层；（2）待涂层干燥后，对带有涂层的坩埚内表面进行加热，使其形成致密涂层。
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