[发明专利]球载式MEMS探空电场传感器及其标定方法在审
| 申请号： | 201710584331.8 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN108931692A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 闻小龙;杨鹏飞;彭春荣;夏善红;刘宇涛 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R35/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种球载式MEMS探空电场传感器，包括：保温罩，内部形成一空腔，用于提供一容纳空间，并且该保温罩具有一开口；MEMS电场传感器敏感芯片，设于所述保温罩所述容纳空间内；感应探头，其一端固定连接在所述保温罩内的所述传感器敏感芯片上，另一端经所述保温罩的开口延伸至所述保温罩的外部。本发明还提供了一种球载式MEMS探空电场传感器集成系统以及一种球载式MEMS探空电场传感器的标定方法。本发明球载式MEMS探空电场传感器、MEMS探空电场传感器集成系统及标定方法，使用便捷，可避免受到低温、高湿度、降水等恶劣环境的影响，具有更高的灵敏度及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电场传感器 保温罩 探空 标定 载式 种球 集成系统 敏感芯片 容纳空间 球载 开口 恶劣环境 感应探头 传感器 灵敏度 一空腔 降水 外部 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种球载式MEMS探空电场传感器，包括：保温罩，内部形成一空腔，用于提供一容纳空间；并且该保温罩具有一开口；MEMS电场传感器敏感芯片，设于所述保温罩所述容纳空间内；感应探头，其一端固定连接在所述保温罩内的所述传感器敏感芯片上，另一端经所述保温罩的开口延伸至所述保温罩的外部。
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