[发明专利]一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统

摘要

本发明公开了一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统，包括一次扩束组件、二次扩束组件以及反射打孔组件；一次扩束组件的负焦扩束镜倾斜设置，正焦扩束镜设在负焦扩束镜透射光侧下方；二次扩束组件包括聚焦镜、棱镜、两片后扩束镜；聚焦镜同轴设在正焦扩束镜的下方，棱镜的分光棱面水平设置；两片后扩束镜对称设在多面棱镜的上方，且两片后扩束镜的中心轴交点位于多面棱镜分光棱面上；反射打孔组件包括的四片反射镜呈两组对称设置，其中一组的两片反射镜分别与两片后扩束镜的透射光束呈45度倾斜设置；每组一侧的反射镜侧均设有振镜，振镜的扫描光束呈竖直设置，振镜扫描光束的下方设有f‑θ镜。本发明实现了激光器高速密集打孔。

主权项

一种基于多面棱镜与振镜高速密集打孔光学系统，其特征在于：包括一次扩束组件、二次扩束组件以及反射打孔组件；所述一次扩束组件包括负焦扩束镜(2)、正焦扩束镜(3)，负焦扩束镜(2)倾斜设置，并与激光器输出的倾斜光束(1)同轴；正焦扩束镜(3)设在负焦扩束镜(2)透射光侧的下方、并与负焦扩束镜(2)的透射光光轴同轴设置；所述二次扩束组件包括聚焦镜(4)、棱镜(5)、两片后扩束镜(6)；所述聚焦镜(4)同轴设在正焦扩束镜(3)的透射光侧下方，所述棱镜(5)纵向设置，棱镜(5)上周向分布有分光棱面，棱镜(5)通过电机带动转动；所述聚焦镜(4)的焦点位于棱镜(5)的分光棱面上；所述两片后扩束镜(6)对称设在多面棱镜(5)的上方，且两片后扩束镜(6)的中心轴交点位于多面棱镜(5)分光棱面上；所述反射打孔组件为对称结构，包括四片反射镜(7)、振镜(8)以及f‑θ镜(10)；所述四片反射镜(7)呈两组对称设置，其中一组的两片反射镜(7)分别与两片后扩束镜(6)的透射光束呈45度倾斜设置；每组一侧的反射镜(7)的反射光侧均设有振镜(8)，振镜(8)中心轴与对应反射镜(7)反射光轴呈45度设置，振镜(8)的下方设有所述的f‑θ镜(10)，f‑θ镜(10)水平设置、并聚焦振镜(8)的反射扫描光束。