[发明专利]移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法

摘要

一种移动体装置、曝光装置、元件制造方法、平板显示器的制造方法、及物体交换方法。于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pa)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pa)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。

主权项

1.一种物体搬送装置，其具备：支承部，以非接触方式支承物体；保持框，保持被以前述非接触方式支承的前述物体；驱动部，使前述保持框相对前述支承部移动；以及搬送部，在保持前述物体的状态下，使前述物体相对前述保持框移动，藉由前述驱动部从于前述支承部上移动中的前述保持框搬出前述物体。