[发明专利]一种滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710586485.0 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107419223A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李巍;郭岩;刘刚;李太江 | 申请（专利权）人： | 西安热工研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C28/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 李宏德 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜及其制备方法，所述薄膜包括依次沉积于滚刀刀圈表面的Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN耐氧化过渡层及TiSiCrCN耐磨薄膜层；所述的TiSiCrCN耐磨薄膜层为(TiCr)(CN)和CrN纳米晶与非晶相(Si3N4和C)的纳米复合结构。所述制备方法包括以下步骤清洗滚刀刀圈的表面，再将滚刀刀圈放置到真空腔室内的旋转装置上进行旋转，并进行等离子体清洗，然后再在滚刀刀圈表面采用多弧离子镀物理气相沉积法，依次沉积Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN耐氧化过渡层及TiSiCrCN耐磨薄膜层，完成滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀刀 tisi 纳米 复合 结构 硬质 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种滚刀刀圈的TiSi基纳米复合结构硬质薄膜，其特征在于，包括依次沉积于滚刀刀圈表面的Cr底层、TiSi过渡层、TiSiN耐氧化过渡层及TiSiCrCN耐磨薄膜层；所述的TiSiCrCN耐磨薄膜层为(TiCr)(CN)和CrN纳米晶与非晶相(Si3N4和C)的纳米复合结构。
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