[发明专利]一种高精度自动纠偏装置有效
| 申请号： | 201710587249.0 | 申请日： | 2017-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN107240572B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘照安;朱太荣;谢越森;林佳继;伊凡·裴力林 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯新能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/68;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高精度自动纠偏装置，包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组；所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度；所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整；所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向；所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方，且与翻转模组可拆卸式连接；所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片，并对该硅片进行X方向的位置调整。本发明纠偏精确度高，体积小，吸盘模组翻转轮换上料效率高，有利于太阳能硅片的批量化纠偏处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 自动 纠偏 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度自动纠偏装置，其特征在于，包括翻转模组、吸盘模组、角度调整模组、X轴调整模组、Y轴调整模组；所述角度调整模组驱动吸盘模组转动以调整其吸盘的角度；所述Y轴调整模组驱动吸盘模组进行Y方向的位置调整；所述翻转模组用于将吸盘模组、角度调整模组、Y轴调整模组同时翻转换向；所述X轴调整模组设置于吸盘模组下方，且与翻转模组可拆卸式连接；所述X轴调整模组用于承接翻转换向后的所述吸盘模组上的角度及Y方向位置调整好后的硅片，并对该硅片进行X方向的位置调整。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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