[发明专利]一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法

摘要

一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置及方法，所述装置包括反应槽体、热气循环鼓风装置、抽气单元、进气单元和加热装置，反应槽体包括反应槽及反应槽上盖；热气循环鼓风装置位于反应槽体外部，包含用于热气循环的热气循环鼓风机、用于调整气量的风门、用于测量风压的压力表、用于分气的多管路气排；抽气单元设置于反应槽体两侧上方，包括抽气孔、抽气管、抽气风量调节阀门、耐热风管和管束；进气单元设置于反应槽体下方，包括进气孔、进气管、进气风量调节阀门、耐热风管和管束；加热装置位于反应槽正上方；反应槽上部装有加热器，通过辐射加热方式将反应液加热；然后将柔性衬底通过输送装置输送至反应槽内的反应液上，实现薄膜沉积。

主权项

一种水浴法沉积薄膜的热气及反应液循环利用的装置，包括反应槽体（1）、热气循环鼓风装置（2）、抽气单元（3）、进气单元（4）和加热装置（5），其特征在于所述的反应槽体（1）包括反应槽（101）及反应槽上盖（102）；所述述热气循环鼓风装置（2）位于反应槽体（1）外部，包含用于热气循环的热气循环鼓风机（201）、用于调整气量的风门（202）、用于测量风压的压力表（203）、用于分气的多管路气排（204）；所述抽气单元（3）设置于反应槽体两侧上方，包括抽气孔（301）、抽气管（302）、抽气风量调节阀门（303）、 耐热风管（304）和管束（305）；所述进气单元（4）设置于反应槽体两侧下方，包括进气孔（401）、进气管（402）、进气风量调节阀门（403）、 耐热风管（304）和管束（305）；且抽气单元与进气单元对应成对出现；所述加热装置（5）位于反应槽正上方，以便用于均匀加热衬底（6）和反应液（7）。