[发明专利]去静电剥离装置及液晶面板制作设备在审
| 申请号： | 201710591390.8 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107329289A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 李任鹏;米田公太郎 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 剥离 装置 液晶面板 制作 设备 | ||
【主权项】：
一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，其特征在于，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。
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