[发明专利]一种柔性基板检测系统及方法有效
| 申请号： | 201710592709.9 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107478180B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 刘哲 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 44238 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性基板检测系统及方法，基于表面扫描共焦的原理，利用第一透镜和第二透镜同时将激光光源发出的光分别汇聚在待检测聚酰亚胺柔性基板的边缘，以及边缘外围的玻璃基板的表面。两束反射光分别沿原路返回并经两个半透半反分光镜折射分别进入两组光电转换器。待检测聚酰亚胺柔性基板的表面高度差的变化表现为电信号延迟或者提前的变化量。两个透镜同时由振动装置振动带动做上下方向的简谐振动，经透镜汇聚后的光点分别与待检测柔性基板的表面及承载基板的表面能够在某一位置重合，利用时间差法可直接地观察柔性基板边缘的品质以及监控柔性基板的涂布‑固化制程的稳定性，大大增加了检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基板检测系统，其特征在于，包括：/n激光光源；/n振动装置；/n固定连接在所述振动装置上的第一透镜和第二透镜；/n设置在所述第一透镜下方的第一半透半反分光镜，和设置在所述第二透镜下方的第二半透半反分光镜；/n第一光电转换器件和第二光电转换器件；以及/n与所述第一光电转换器件和所述第二光电转换器件电连接的检测单元；/n其中，所述振动装置用于带动所述第一透镜和所述第二透镜以固定的频率及振幅作上下振动；/n所述第一透镜用于将所述激光光源发出的第一光束经所述第一半透半反分光镜汇聚于待检测柔性基板边缘上表面，所述第二透镜用于将所述激光光源发出的第二光束经所述第二半透半反分光镜汇聚于待检测柔性基板边缘附近的承载基板上表面；/n所述第一光电转换器件用于通过所述第一半透半反分光镜获得所述第一光束在所述待检测柔性基板边缘上表面的反射光并将其转换为第一电信号，所述第二光电转换器件用于通过所述第二半透半反分光镜获得所述第二光束在所述承载基板上表面的反射光并将其转换为第二电信号；/n所述检测单元用于根据在同一检测周期内所述第一电信号达到峰值和所述第二电信号达到峰值的时间差，获取所述待检测柔性基板边缘表面平整性信息。/n
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