[发明专利]一种扫描粒子束显微镜系统及聚焦控制方法在审
| 申请号： | 201710594997.1 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107329246A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟;王瑞平 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 张颖玲,李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描粒子束显微镜，包括扫描粒子束显微镜及聚焦控制系统；所述聚焦控制系统包括两个照明成像装置，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；两个反射装置，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反射到所述样品表面、以及将所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束反射到所述探测装置；两个探测装置，用于接收从所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束，并探测所述光束携带的聚焦图像；聚焦控制装置，用于对所述聚焦图像进行处理，获得所述样品的距离属性，并根据所述距离属性调节所述样品的位置参数，用以控制所述扫描粒子束显微镜的工作距离。本发明还公开了一种聚焦控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 粒子束 显微镜 系统 聚焦 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描粒子束显微镜系统，其特征在于，包括：扫描粒子束显微镜及控制所述扫描粒子束显微镜工作距离的聚焦控制系统；其中，所述聚焦控制系统包括：两个照明成像装置，对称位于所述扫描粒子束显微镜的真空腔室上方、以及扫描粒子束显微镜的带电粒子光学镜筒侧面，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；所述样品位于所述真空腔室内；两个反射装置，对称位于所述真空腔室内部，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反射到所述样品表面、以及将所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束反射到所述探测装置；两个探测装置，对称位于所述两个照明成像装置的上方，用于接收从所述样品表面反射的携带聚焦图像的光束，并探测所述光束携带的聚焦图像；聚焦控制装置，用于对所述聚焦图像进行处理，获得所述样品的距离属性，并根据所述距离属性调节所述样品的位置参数，用以控制所述扫描粒子束显微镜的工作距离。
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