[发明专利]电子背散射衍射仪有效
| 申请号： | 201710596460.9 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107607564B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;李辉;陈黎玮;申胜男 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01N23/20058 | 分类号： | G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/207;G01N23/20008;H01S3/00 |
| 代理公司： | 11228 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 430072 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子衍射仪，一种可实现缺陷自动调控的电子衍射仪，包括真空样品室，真空样品室内设置有样品台，还包括电子枪、缺陷调控光路以及处理单元，电子枪的电子脉冲聚焦后采用65‑70度的入射角射至样品台的样品上，缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至真空样品室内的样品台的样品上，缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，处理单元包括接收组件以及控制中心。本发明的衍射仪可对样品进行晶体结构分析，还能够进行晶粒尺寸测量等方面的研究分析，且在保证高空间分辨率基础上，将衍射仪的时间分辨率提升至飞秒量级，保证检测信号信噪比的同时实现飞秒电子脉冲数量和能量可控，实现边监测、边调控。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 散射 衍射 | ||
【主权项】：
1.一种电子背散射衍射仪，包括真空样品室，所述真空样品室内设置有样品台，其特征在于：还包括用于向所述样品台发射电子脉冲的电子枪、用于发射二倍频激光的缺陷调控光路以及用于分析背散射衍射图像的处理单元，所述电子枪的电子脉冲聚焦后采用65-70度的入射角射至所述样品台的样品上，所述缺陷调控光路的二倍频激光由第二入射窗口透射至所述真空样品室内的所述样品台的样品上，所述缺陷调控光路上设置有激光脉冲能量调节装置以及激光脉冲扫描装置，所述处理单元包括用于接收衍射图像的接收组件以及分析接收后衍射图像以控制所述激光脉冲能量调节装置以及所述激光脉冲扫描装置的控制中心。/n
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