[发明专利]一种短波长深紫外激光输出装置有效
| 申请号： | 201710598849.7 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107317218B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 宗楠;王志敏;张申金;杨峰;张丰丰;彭钦军;许祖彦;薄勇;杨宇頔;李玉娇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01S3/109 | 分类号： | H01S3/109 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种短波长深紫外激光输出装置，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF‑PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；所述第一基频源，用于产生第一基频光；所述倍频晶体，通过非线性过程产生倍频光输出；所述KBBF‑PCD器件，用于输出4倍频光；所述旋光器，用于使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后，返回所述KBBF‑PCD器件中；所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF‑PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深紫外激光输出。本发明利用单块KBBF‑PCD器件实现短波长深紫外激光输出；所需基频源要求低，体积小，造价低，稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 深紫 激光 输出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种短波长深紫外激光输出装置，其特征在于，包括依次设置的第一基频源、倍频晶体、KBBF-PCD器件、旋光器、高反镜和第二基频源；/n所述第一基频源，用于产生第一基频光；/n所述倍频晶体，用于通过非线性过程产生倍频光输出；/n所述KBBF-PCD器件为单一块器件，用于输出4倍频光，同时用于将产生的、经旋光器和高反镜返回的4倍频光与第二基频光进行和频，最终实现5倍频光输出；/n所述旋光器，用于接收所述4倍频光，并使所述4倍频光的偏振方向旋转45度后输出；/n所述高反镜，用于将旋转45度的所述4倍频光按照原光路返回至旋光器，偏振方向再旋转45度后返回至所述KBBF-PCD器件中，以实现与所述第二基频源产生的第二基频光和频；/n所述第二基频源，用于产生第二基频光并与再次进入KBBF-PCD器件的4倍频光进行和频，产生短波长深紫外激光输出；/n其中，所述短波长深紫外激光是指小于160nm的深紫外激光；/n其中，所述第一基频源和所述第二基频源为钛宝石基频源，可调谐范围为750nm～850nm；/n其中，所述第二基频源还用于：调节所产生的第二基频光的波长，使所述第二基频光的波长与所述4倍频光的波长匹配，以实现和频。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院理化技术研究所，未经中国科学院理化技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710598849.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
