[发明专利]一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统有效
| 申请号： | 201710600115.8 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107356411B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;安其昌;赵宏超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种大口径光学系统的波前误差检测方法及检测系统，在获知大口径光学系统的焦距参数的前提下，包括步骤：S100、开启PSM装置的点光源模式，控制机械臂移动PSM装置至大口径光学系统的反射镜的中心轴线上且靠近反射镜的曲率中心位置，使反射镜曲率中心位于PSM装置的视场内，确定反射镜曲率中心的位置；S200、将激光跟踪仪靶球定位于反射镜曲率中心，利用激光跟踪仪与激光跟踪仪靶球确定反射镜曲率中心的三维空间位置信息；S300、根据反射镜的曲率中心的三维空间位置信息移动激光干涉仪至反射镜的待测位置，通过激光干涉仪获取反射镜的波前误差。该方法减小了人工参与程度，提高了检测精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学系统 误差 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种大口径光学系统的波前误差检测方法，其特征在于，在获知大口径光学系统的焦距参数的前提下，包括步骤：S100、开启PSM装置的点光源模式，控制机械臂移动所述PSM装置至所述大口径光学系统的反射镜的中心轴线上且靠近所述反射镜的曲率中心位置，使所述反射镜的曲率中心位于所述PSM装置的视场内，确定所述反射镜的曲率中心的位置；S200、将激光跟踪仪靶球定位于所述反射镜的曲率中心，利用激光跟踪仪与所述激光跟踪仪靶球确定所述反射镜的曲率中心的三维空间位置信息；S300、根据所述反射镜的曲率中心的三维空间位置信息移动激光干涉仪至所述反射镜的待测位置，通过所述激光干涉仪获取所述反射镜的波前误差。
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