[发明专利]一种基于双频激光干涉原理的精确位移监测系统在审
| 申请号： | 201710601334.8 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107339941A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 孔令豹;周攀宇;徐敏 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司31200 | 代理人： | 陆飞,陆尤 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量技术领域，具体为一种基于双频激光干涉原理的精确位移监测系统。本发明系统包括双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一个四分之一波片，在波片后放置分光镜，分光镜的分光面与激光器输出光路呈45°夹角，在分光镜的两路输出光方向分别放置两个与输出光路呈45°夹角的偏振分光镜，在偏振分光镜的反射方向放置一块固定标准平面镜，在透射方向放置一块与输出光路呈45°的反射镜，在反射镜输出光方向放置一块凸透镜，凸透镜焦点位置在标准球面的球心，在偏振分光镜的反射光路的反侧还分别有一个探测器。本发明使用两路双频激光干涉仪，实现了对运动部件的精确实时定位，提升了使用光学三坐标方法测量回转体几何参量的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双频 激光 干涉 原理 精确 位移 监测 系统 | ||
【主权项】：
一种基于双频激光干涉原理的精确位移监测系统，其特征在于，包括一台双频激光器，在该激光器的输出光路上设置一个四分之一波片，在四分之一波片后放置一块分光镜，该分光镜的分光面与激光器输出光路呈45°夹角，在该分光镜的两路输出光方向分别放置两个与输出光路呈45°夹角的偏振分光镜，在偏振分光镜的反射方向放置一块固定标准平面镜，在透射方向放置一块与输出光路呈45°的反射镜，在反射镜输出光方向放置一块凸透镜，凸透镜焦点位置在标准球面的球心，在偏振分光镜的反射光路的反侧还分别有一个探测器。
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