[发明专利]掩膜版及掩膜版的制作方法有效
| 申请号： | 201710601835.6 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN107354426B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 潘晟恺;乔永康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种掩膜版及掩膜版的制作方法，属于显示技术领域，其可解决现有技术在对衬底基板进行镀膜时，金属掩膜版容易划伤、压伤衬底基板的问题。本发明的掩膜版具有用于与衬底基板接触的接触侧，该掩膜版包括金属本体和有机涂层，有机涂层至少形成于金属本体靠近接触侧的一侧的边缘区域。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 制作方法 | ||
【主权项】：
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